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【产品说明】微波等离子蚀刻机(3 kW / 2450 MHz)|微波等离子蚀刻机|蚀刻机

发布时间：

2020-12-01

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微波等离子蚀刻机(3 kW / 2450 MHz)|微波等离子蚀刻机|蚀刻机

基本参数：
微波功率3kW 频率2.45GHz
工艺台面尺寸320X320mm，
可处理100/150/200/300mm尺寸的晶圆片
各向同性刻蚀，无离子攻击
对于硅样品刻蚀率可达到90μm /min
对于200mm晶圆腐蚀率为3μm/min，
300mm晶圆腐蚀率为2.5μm/min
对于典型的SiN及BPSG 蚀刻率 1 μm/min，
典型热氧化物 250 nm/min

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